經過過濾系統處理的廢氣通過收集管道，首入蓄熱室，蓄熱室內安裝的板片式陶瓷蓄熱體將貯存的熱能交換給廢氣，使待處理廢氣達到預熱溫度；經預熱后的廢氣進入氧化室，氧化室內安裝燃料（氣）燃燒器，將溫度升高至800℃以上，達到廢氣中各污染物的氧化溫度，使廢氣中的廢氣被氧化分解成CO₂和H₂O；

由于廢氣中含有粉塵及粘性物質，如果直接進入沸石轉輪吸附系統會堵塞沸石轉輪的空隙，導致吸附效率降低甚至失效，同時，由于沸石轉輪使用壽命比較長，為了轉輪的吸附效果，通常在廢氣進入沸石轉輪前采用過濾器將粉塵及粘性物質去除，過濾器通常采用過濾，：過濾精度G4，級：過濾精度F6，第：過濾精度F9，廢氣無粉塵和顆粒等。

工廠所排放出之VOCS 廢氣進入系統后，一階段系經過疏水性沸石所組成之轉輪，VOCS 污染物質首先于轉輪上進行吸附；階段之脫附程序是由與后端焚化系統熱交換后預熱之經冷卻區處理后廢氣(約180至220 ℃)，使其通入轉輪內利用高溫將物脫附下來，此時出流污染物濃度大約可控制為入流廢氣之5至20倍左右，而脫附下來之物則可于第三階段進行溫度于700℃以上之焚化或進行冷凝回收再利用等程序，如此可以減少后續之廢氣處理單元尺寸、操作經費及設備初設費用。